الصفحة الرئيسية
عن العمادة
الرؤية والرسالة
الهيكل التنظيمي
الدراسات العليا بجامعة الملك عبد العزيز
الخدمات البحثية والدورات
وحدة الخدمات البحثية
ابحاث مهمة للمجتمع
خدمات العمادة
أسئلة متكررة
الأبحاث
دليل المنسوبين
مواقع مفضلة
دعم الطلاب
خريطة الوصول للعمادة
آلية توزيع الاستبانات
جوائز الدراسات العليا
التقديم على الجوائز
الفائزون بالجوائز للعام الجامعي 1440
منسوبو العمادة
دليل الموظفين
تواصل معنا
عربي
English
عن الجامعة
القبول
الأكاديمية
البحث والإبتكار
الحياة الجامعية
الخدمات الإلكترونية
صفحة البحث
عمادة الدراسات العليا
تفاصيل الوثيقة
نوع الوثيقة
:
رسالة جامعية
عنوان الوثيقة
:
تكوين أفلام رقيقة عازلة متعددة الطبقات ذات سماحية عالية باستخدام التسخين بواسطة الأشعة البنفسجية عميقة المدى
FABRICATION OF MULTILAYER HIGH- DIELECTRIC THIN FILMS USING DEEP ULTRAVIOLET ANNEALING APPROACH
الموضوع
:
كلية العلوم
لغة الوثيقة
:
العربية
المستخلص
:
يعد التنشيط الكيميائي الضوئي الناجم عن ضوء الأشعة فوق البنفسجية عميقة المدى (DUV) مسارًا حديثًا برز مؤخرًا كطريقة تلدين لأغشية أكاسيد المعادن الرقيقة العازلة. تمتاز هذه الطريقة للتلدين بأنها سريعة، وبسيطة وقليلة التكلفة، حيث يقوم الضوء الفوق البنفسجي ذو الأطوال الموجية 185 نانومتر و254 نانومتر بتوفير طاقة كافية لتكثيف أغشية أكاسيد المعادن عند درجات حرارة منخفضة. وقد تم تكريس هذا البحث من أجل تصنيع أغشية رقيقة متعددة الطبقات ذات ثابت عزل عالي، باستخدام أكسيد الهافنيوم (HfO2) وأكسيد الإيتريوم (Y2O3) المصنع بطريقه محلول - هلام مع استخدام استراتيجية التلدين بواسطة DUV. حيث تمت دراسة خصائص العازل HfO2/Y2O3 متعدد الطبقات وفقًا لعدد الطبقات ولطريقة التلدين. على وجه التحديد، تم تصميم عوازل متعددة الطبقات تتكون من 3 و9 و10 طبقات متناوبة. ثم لكل حالة، تم تطبيق ثلاثة شروط مختلفة من التلدين، وهي: التلدين التقليدي عند 400 درجة مئوية لمدة 60 دقيقة، التلدين بواسطة DUV لمدة 60 دقيقة، التلدين بواسطة DUV لمدة 30 دقيقة. بالنسبة للخواص الكهربائية للأغشية فقد تمت دراسـة منحنيات (السعة -الجهد) بالإضافة لمنحنيات (التيار-الجهد) وقد وجد أن العازل المكون من 9 طبقات متناوبه من HfO2/Y2O3 والذي تم تسخينه لمده 30 دقيقه باستخدام الأشعة فوق البنفسجية قد حقق أقل قيمه لكثافة تيار التسرب والتي كانت 7.32×10-9 أمبير/سم2 عند تطبيق جهد مقداره 1 فولت، بينما كانت قيمه ثابت العزل له تساوي 8.73 عند تردد 100 كيلو هرتز مع قيمه صغيرة مهملة لجهد التباطؤ. بينما نجد أن الأفلام التي تم تحضيرها بالتناوب ما بين أكسيد الهافينوم وأكسيد الايتريوم قد حققت شفافية في حدود 94% وبشكل عام فإن العينات التي تم تحضيرها عن طريق التلدين باستخدام الأشعة فوق البنفسجية حققت قيم منخفضة لكل من جهد التباطؤ وجهد النطاق المسطح. هذه النتائج توضح وجود إمكانات واعدة في استخدام DUV كطريقة تلدين للتطبيقات التي يكون خفض الطاقة الحرارية فيها أمراً ضرورياً وحاسماً.
المشرف
:
د.هاله الجوهري
نوع الرسالة
:
رسالة ماجستير
سنة النشر
:
1442 هـ
2020 م
المشرف المشارك
:
د.أروى كتبي
تاريخ الاضافة على الموقع
:
Friday, December 4, 2020
الباحثون
اسم الباحث (عربي)
اسم الباحث (انجليزي)
نوع الباحث
المرتبة العلمية
البريد الالكتروني
شواق محمد الميموني
Al-Maimouni, Ashwag Mohammed
باحث
ماجستير
الملفات
اسم الملف
النوع
الوصف
46804.pdf
pdf
الرجوع إلى صفحة الأبحاث